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Plasmadiagnostik

Im Mittelpunkt der anwendungsorientierten Forschungsaktivitäten stehen Untersuchungen zur Prozessüberwachung und Prozesskontrolle bei vor allem molekularen Plasmaprozessen. Der Fokus liegt in der zeit- und ortsaufgelösten qualitativen und quantitativen chemischen Analyse von molekularen Plasmen. Das vorhandene Spektrum an Messgeräten und Methoden der laserbasierten Plasmadiagnostik, das Know-how sowohl bei der Bedienung als auch zur Auswertung der Messdaten werden stetig erweitert. Die Plasmadiagnostik erlaubt die absolute Messung von Energien, Temperaturen und Speziesdichten mittels Sondendiagnostik, Absorptionsspektroskopie und optischer Emissionsspektroskopie und daraus die Bestimmung alle relevanten chemischen Prozesse.  

Für die Untersuchungen stehen speziell ausgerüstete Labore für die Diagnostik an praxisnah nachgebildeten chemischen Plasmaprozessen mit modernster Messgeräteausstattung zur Verfügung.  

Die Diagnostikmethoden sind auch für den mobilen Einsatz geeignet und können für externe Messungen eingesetzt werden.

Technologische Ausstattung

  • FTIR-Spektroskopie von VIS bis Mid-IR  
  • Gepulster Farbstofflaser in UV-VIS
    • Spektralbereich 200 – 900 nm
  • Diodenlaser, Quantenkaskadenlaser, Interbandkaskadenlaser, Bleisalzlaser und Frequenzkammlasersystem
    • Spektralbereich: 300 nm bis 20 µm
    • CW und gepulste Laser   
  • Gitterspektrographen mit CCD- und iCCD-Kameras im Spektralbereich: 200 – 900 nm  
  • Cavity ring-down Spektroskopie (CRDS)
  • Cavity-enhanced Absorptionspektroskopie (CEAS)
  • Optical feedback CEAS
  • Langmuirsonde zur zeitaufgelösten Bestimmung der Elektronenenergieverteilungsfunktion, der mittleren Elektronenenergie, der Plasmadichten, des Plasmapotentials und des Floatingpotentials.