Die Geschichte der Plasmaphysik in Greifswald beginnt mit Rudolf Seeliger, der 1918 an das Physikalische Institut der Universität kam: Ein Pionier der Gasentladungsphysik, der eine international beachtete Schule auf diesem Gebiet entwickelte. Rudolf Seeliger übernahm 1940 den Direktorensessel des Physikalischen Institutes.

1946 gründete Paul Schulz, ein renommierter Spektroskopiker, Gasentladungsphysiker und Lichttechniker, die "Forschungsstelle für Gasentladungsphysik", angesiedelt bei der Akademie der Wissenschaften. Als Paul Schulz 1949 nach Berlin wechselte, wurde Rudolf Seeliger Direktor der Forschungsstelle, die 1950 in "Institut für Gasentladungsphysik" umbenannt und ab 1969 dem "Zentralinstitut für Elektronenphysik" (ZIE) zugeordnet wurde.

Zum 31.12.1991 wurde das Institut formal aufgelöst. Auf Empfehlung des Wissenschaftsrates der Bundesrepublik wurde am 1.1.1992 das INP (Institut für Niedertemperatur-Plasmaphysik e.V.) gegründet, das Institut gehörte fortan zur Leibniz-Gemeinschaft. Am 14.09.2007 wurde das Institut für Niedertemperatur-Plasmaphysik e.V. in Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V. umbenannt, um Gottfried Wilhelm Leibniz zu ehren und um die neue Strategie des INP besser zum Ausdruck zu bringen.