Im Forschungsbereich "Oberflächen und Materialien" werden die Kompetenzen des INP zur Plasmaoberflächenbehandlung zusammengefasst. Niedertemperaturplasmen können Oberflächen auf verschiedene Weise verändern: Reinigen, Ätzen, Vernetzen, Aktivieren und Beschichten. Hierfür werden im Forschungsbereich sowohl kommerziell erhältliche und industrietaugliche Plasmaquellen und –reaktoren eingesetzt als auch neuartige problemangepasste Plasmaquellen entwickelt. Es werden Plasmaverfahren erforscht, die zur Behandlung von planen Oberflächen, insbesondere aber auch für komplexe 3D-Strukturen, geeignet sind.
Der Eintrag plasmabehandelter mikro- oder nanoskaliger Partikel in organische oder anorganische Werkstoffe führt zu Materialien (Verbundwerkstoffe) mit veränderten Volumeneigenschaften. Auf diese Weise werden durch Plasmaeinwirkung sowohl Oberflächen- als auch Materialeigenschaften verändert.
Eine umfangreiche oberflächen- und plasmaanalytische Ausrüstung gewährleistet eingehende Untersuchungen und Bewertungen der Verfahren und Behandlungsergebnisse.