Syntheselabor für Grüne Ammoniak Materialien
Das Applikationslabor “Syntheselabor für Grüne Ammoniak Materialien“ bündelt die langjährige Expertise des INP hinsichtlich Dünnschicht- und Nanomaterialsynthese mittels Vakuum- und Plasma-basierter Methoden. Es sind Reaktoren für simultanes Multitarget-Sputtering und Hochleistungsimpulsmagnetronsputtering sowie Plasma-Ionen gestützte Abscheidungen verfügbar. In Kombination mit hauseigener Engineeringexpertise werden in diesem Applikationslabor Wege zu neuartigem Material- und Schichtdesign für Energieanwendungen, Korrosionsschutz sowie Barrierebeschichtungen geebnet.
HEIDI: Reaktor für Hochleistungsimpulsmagentronsputtern (HiPIMS)
- Hochleistungspulse in der Anzeit von z.B. P = 107 W/m2, 500 μs
- Polarisierter Probenhalter (bis zu 30 kV) für Plasma-Ionen Immersions-Implantation (PIII)
- Multitarget-MS Prozesse für Erstellung von Kompositionsmappen
M900: Plasma-Ionen gestützte Elektrodenstrahlverdampfung (PIAD)
- Elektronenstrahlverdampfen von bis zu zwei Präkursorquellen
- Multi-Probenhalter für bis zu 50 Wafers
- Homogen gerichtetes Plasma durch ringförmige Magnetspulen
STARON: Reaktor für Co-Sputterprozesse
- 2x DC und 2x RF Plasmaquellen für Multi-Target Deposition
- Closed field Unbalanced Magnetron Sputtering (CFUBMS) Konfiguration
Drehtrommelreaktor
- RF-Quelle
- Oberflächenaktivierung und Funktionalisierung von pulverförmigen Substraten
L2H und Nikolas Reaktoren
- RF Sputter- und PECVD-Reaktor für Pulverproben und immobilisierte Substrate
- rotierender Probenteller für bis zu 10 g Pulver
- Be- und Entladeports für Handling von luftempfindlichen Proben
