Dünnschicht- und Beschichtungstechnologien

Der Forschungsschwerpunkt „Oberflächen & Materialien“ konzentriert sich auf  Plasmatechnologie zur Herstellung maßgeschneiderter dünner Schichten und Beschichtungen durch:

• Physikalische Gasphasenabscheidung (z.B. Magnetronsputtern im DC-, RF- und HiPIMS-Modus)
• Chemische Gasphasenabscheidung (z.B. Plasmapolymerisation mittels Niederdruck-Mikrowellenplasmen)
• Abscheidungsprozesse bei Atmosphärendruck (z.B. Atmosphärisches Plasmaspritzen)

Um die Mikrostruktur der Dünnschicht sowie ihre morphologischen, elektrischen, mechanischen und chemischen Eigenschaften zu kontrollieren, strebt das INP ein tieferes Verständnis der Prozess-Eigenschafts-Beziehungen an, indem es Plasmatechnologie, Plasmacharakterisierung (Diagnostik und Modellierung) sowie Oberflächen- und Materialcharakterisierung miteinander verknüpft.